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2D Semiconductor Wafer/Chip Defect Inspection

瑕疵檢測類別

Defect Type
1
正括、背括、裂痕、皺摺
2
Particle
3
污跡、異色、指紋
4
邊緣缺角、崩角
5
氣泡、空孔、凹洞
6
異物、白點、痣點
7
曲翹
8
印痕、研磨不均
9
斷線、圖樣易位
10
客製化缺陷檢查及定義
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