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イメージングモジュール AA システム

  • SFR / MTF 計算結果に基づく6軸アクティブ精密アライメント  6DoF Active Alignment with SFR / MTF Pattern
  • 複合型光学システム:Collimators (5 または 9 個 / FOV 最大 200°) または Light panel with Relay lens (FOV 最大 130°)
  • 全自動ディスペンス&画像確認システムAuto Glue Dispensing & Check
  • UV光源によるUV接着剤の予備硬化UV Light Source Pre-curing
  • レンズまたはセンサーをAA基準面として選択可能(製品仕様に応じて選択)
  • クリーンルーム対応:Class 100
  • イオンガン洗浄機能 レンズ底面およびホルダー上面を清掃(自動搬送システムとの組み合わせが必要)
  • Plasma Cleaning (Lens bottom surface / Holder top surface)
  • オプション機能:最終検査 MTF / SFR測定 Blemish、Particle & Hot pixel 検出
  • 搬送方式の選択 手動搬送または全自動搬送システム
  • 生産能力(UPH)150UPH / 90UPH(Pre AA実行時)