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ウェーハコーティング欠陥検査システム

  • 高解像度遠心検査システム
  • デジタル自動焦点システム（Auto Focus System）
  • 大型チップ位置合わせシステム（Multi-View）
  • 視覚測定システムによる各重要寸法の画像測定
  • 自動キャリブレーションおよび巡回検査システム
  • カスタマイズ可能なレポート出力
  • 完全自動高速ロード/アンロード
  • 欠陥検出カテゴリ：エッジ崩れ、めっき面、膜裂け、粒子、損傷、引っかき傷
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