- 自動切替式高倍率顕微鏡検査システム
- ナノレベルの自動焦点システム（Auto Focus System）
- 大型チップ位置合わせシステム（Multi-View）
- レシピオフライン編集機能
- マルチスレッド画像比較演算システム
- 視覚測定システムによる各重要寸法の画像測定
- CADインポート機能でレシピ作成時間を短縮
- 自動キャリブレーションおよび巡回検査システム
- カスタマイズ可能なレポート出力
- 高速なロード/アンロード（<10秒）
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ウェーハ欠陥検査システム