MTF/コントラスト比を演算し、その結果に基づいて6軸をフィードバック補正
MTFおよびコントラスト比をリアルタイムで計算し、演算結果に基づいて6軸制御を行い、高精度な補正を実現します。多軸光学精密キャリブレーションシステム
多軸制御による光学精密キャリブレーションシステムで、高度な位置精度と安定性を確保します。センサーエリア1μm AOI欠陥検出
センサーエリアにおける1μmレベルのAOI(自動光学検査)による高精度な欠陥検出を可能にします。全自動搬送システム(自動供給・回収)
全自動の上下流搬送システムにより、無人化と効率化をサポートします。精密ディスペンスおよびUV硬化システム
高精度な点滴塗布と、UV照射による迅速な硬化処理を一体化したシステムです。


