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AR モジュール AA システム

  • MTF/コントラスト比を演算し、その結果に基づいて6軸をフィードバック補正
     MTFおよびコントラスト比をリアルタイムで計算し、演算結果に基づいて6軸制御を行い、高精度な補正を実現します。

  • 多軸光学精密キャリブレーションシステム
     多軸制御による光学精密キャリブレーションシステムで、高度な位置精度と安定性を確保します。

  • センサーエリア1μm AOI欠陥検出
     センサーエリアにおける1μmレベルのAOI(自動光学検査)による高精度な欠陥検出を可能にします。

  • 全自動搬送システム(自動供給・回収)
     全自動の上下流搬送システムにより、無人化と効率化をサポートします。

  • 精密ディスペンスおよびUV硬化システム
     高精度な点滴塗布と、UV照射による迅速な硬化処理を一体化したシステムです。