- 工場側の装置およびプロセス要件に基づき、自動化スクリプトを作成し、現場作業の効率化を実現
- RCM／OCRスクリプトを活用し、繰り返し作業の動作を編成・標準化することで、作業精度を向上させ、オペレーターによる操作ミスや判断エラーを防止し、作業リスク低減および歩留まり向上に貢献
- SECS/GEM機能：各プロセスおよび装置フローに基づき、装置と上位システム間の通信が半導体装置通信規格（SECS/GEM）に準拠するように計画・実装
- プロセスおよび装置特性に応じたSECS/GEM機能のカスタマイズに対応し、工場システムフロー要件に基づくデータ収集（Data Collection）、レシピ制御（Recipe Control）、トレースデータ（Trace Data）取得を実現
