高速Wafer AOI瑕疵檢測及AI瑕疵分類系統
✓ 高速飛拍、晶圓正背面同時檢測
✓ 多組光源可針對瑕疵特徵提供不同類型光源增加瑕疵檢出能力
✓ 適用4~12”晶圓檢測或CIS、玻璃基板coating 瑕疵檢測
✓ 可搭配AI系統進行瑕疵分類
✓ 選配IDAS(Inspection Data Analysis System)數據統計分析
✓ 軟體協助製程優化
了解更多✓ 多組光源可針對瑕疵特徵提供不同類型光源增加瑕疵檢出能力
✓ 適用4~12”晶圓檢測或CIS、玻璃基板coating 瑕疵檢測
✓ 可搭配AI系統進行瑕疵分類
✓ 選配IDAS(Inspection Data Analysis System)數據統計分析
✓ 軟體協助製程優化
攝像頭模組高速AA系統
✓ 雙AA系統,可選擇Lens或Sensor為基準
✓ 可選擇Collimator或Relay出廠設置
✓ 高速精準六軸AA模組
✓ 全自動上下料系統
✓ 等離子電漿清潔系統
✓ 黑白場影像測試系統
✓ NST高速六軸影像辨識系統
了解更多✓ 可選擇Collimator或Relay出廠設置
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結合影像、通訊、UI、視覺算法與機電控制整合的 NTS 影像測試系統,具備強大而完整的視覺、光學測試軟體,依照設備需要的測試項目與參數提供高度的客製化彈性與系統共容性。