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晶圓鍍膜瑕疵檢測系統

  • 高解析度遠心檢測系統
  • 數位自動對焦系統(Auto Focus System)
  • 大尺寸晶片對位系統(Multi-View)
  • 視覺量測系統，以影像量測方式檢測各關鍵尺寸
  • 自動校正及巡檢系統
  • 客製化報表輸出
  • 全自動快速上下料
  • 瑕疵檢測類別：邊崩、鍍同面、膜裂、Particle、Damage、Scratch
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