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晶圓瑕疵檢測系統

  • 自動切換多倍率顯微檢測系統
  • 奈米級自動對焦系統(Auto Focus System)
  • 大尺寸晶片對位系統(Multi-View)
  • Recipe 離線編輯功能
  • Multi-Thread影像比較式演算系統
  • 視覺量測系統，以影像量測方式檢測各關鍵尺寸
  • Import CAD節省Recipe建立時間
  • 自動校正及巡檢系統
  • 客製化報表輸出
  • 快速上下料(<10sec)
  • 瑕疵檢測類別：
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