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OCR/RCM

  • 根據廠端設備與製程需求，制定自動化劇本提升現場作業效率
  • 利用RCM/OCR劇本使重複性高的動作進行編排提高作業準確度，避免人員操作與判斷錯誤，降低作業失誤與風險進而提高良率
  • SECS/GEM功能：依照各製程與設備流程進行規畫，使設備與上位系統間的通訊可以符合半導體設備通訊規格
  • 可以依照製程與設備特性進行SECS/GEM功能客製化，達到廠端系統流程需求的Data collection 、recipe Control 、Trace Data
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