Lens
- 最小檢出尺寸 : 12um
- 檢出不良類型 : 異物, 黑點, 白點,氣泡,劃傷, 污痕, 鍍膜不良 (檢查區域 : 鏡片上下面)
- Cycle Time : 0.4 sec/ea.(± 0.1)
- Pixel size : 5.5um (Pixel resolution 6.11um)
- 光學倍率 : 0.9 X
- FOV : 12*12 (mm)
- Tray : 20 coating trays/magazine
Lens Module
- 最小檢出尺寸 : 12um
- 檢出不良類型 : 異物, 黑點, 白點,氣泡,劃傷, 污痕, 鍍膜不良, 膠不良 (檢查區域 : 鏡間、鏡筒上下面)
- Cycle Time : 0sec./ea (± 0.2%)
- (Vision system) : 4 set 9X 變焦相機 3set (4M Camera)
- Pixel size : 5um(4M Camera)
- 光學倍率 : 9X & 0.5X
- FOV : 12mm x 12mm
- Tray 數量 : 10 trays/magazine